I. Pagrindiniai molibdeno naudojimo būdai ir funkcijos
Molibdenas yra sidabriškai{0}}baltas metalinis elementas, pasižymintis puikiomis fizinėmis ir cheminėmis savybėmis, todėl jis plačiai naudojamas įvairiose srityse. Toliau pateikiami pagrindiniai molibdeno naudojimo būdai ir funkcijos:
1. Plieno pramonė. Molibdenas dominuoja plieno pramonėje ir sudaro apie 80 % viso molibdeno suvartojimo. Tai pagerina plieno stiprumą, kietumą, atsparumą dilimui ir atsparumą korozijai, todėl geresnis veikimas ir ilgesnis tarnavimo laikas. Pavyzdžiui, nerūdijantis plienas, kurio sudėtyje yra molibdeno{4}}, plačiai naudojamas korozinėje aplinkoje, pvz., chemijos ir jūrų pramonėje.
2. Chemijos pramonė: Molibdeno junginiai plačiai naudojami kaip katalizatoriai chemijos pramonėje. Pavyzdžiui, molibdeno disulfidas gali būti naudojamas kaip hidrodesulfuracijos ir angliavandenilių krekingo katalizatorius, o molibdeno oksidas naudojamas įvairių pigmentų ir dažiklių gamyboje.
3. Elektronikos pramonė. Molibdenas pirmiausia naudojamas kaip elektrodų medžiaga elektronikos pramonėje. Dėl aukšto-temperatūrinio stabilumo ir gero elektros laidumo molibdeno elektrodai plačiai naudojami elektroniniuose įrenginiuose, tokiuose kaip elektronų vamzdžiai, tranzistoriai ir lygintuvai. Molibdenas taip pat naudojamas gaminant kaitinimo elementus ir šilumos skydus vakuuminėse krosnyse.
II. Pagrindiniai molibdeno naudojimo puslaidininkių gamyboje etapai
Sparčiai tobulėjant puslaidininkių technologijoms, molibdeno taikymas šioje srityje tapo vis plačiau paplitęs. Toliau pateikiami trys pagrindiniai molibdeno naudojimo puslaidininkių gamyboje etapai:
1. Jonų implantacija. Šiame procese kaip jonų šaltinio medžiaga naudojamas molibdenas. Jonų implantavimas – tai priemaišų atomų įvedimo į silicio plokšteles metodas, kuris gali pakeisti plokštelės laidumą. Dėl aukštos lydymosi temperatūros ir puikaus atsparumo korozijai molibdenas gali atlaikyti priemaišų dujų reakciją ir plazmos eroziją kameroje, taip užtikrindamas jonų implantavimo stabilumą ir efektyvumą.
2. Molekulinio pluošto epitaksijos įranga: molekulinio pluošto epitaksė yra didelio-tikslumo, aukštos-kokybės puslaidininkinių medžiagų auginimo technologija. Šiame procese molibdenas naudojamas kaip pertvarų, substrato laikiklių ir kitų vakuuminės kameros komponentų medžiaga. Dėl didelio kietumo ir plokštumo molibdenas užtikrina puslaidininkių kristalų struktūros tikslumą ir nuoseklumą.
3. Fotolitografinės kaukės: fotolitografijos proceso metu medžiaga naudojama kaip kaukė, apsauganti tam tikras silicio plokštelės vietas nuo fotorezisto. Molibdeno folija plačiai naudojama kaip fotolitografinės kaukės medžiaga dėl didelio tikslumo, didelio pakartojamumo ir puikaus atsparumo korozijai.
