Sudėtingame puslaidininkių gamybos pasaulyje, kuriame medžiaga manipuliuojama atominiu mastu, jonų implantavimas yra kertinė technologija. Šis procesas, kuris tiksliai bombarduoja silicio plokšteles legiravimo jonais, kad sureguliuotų jų elektrines savybes, priklauso nuo kritinio pradinio taško: gryno, stabilaus jonų pluošto sukūrimo. Pačiame jonų šaltinio -šios sudėtingos sistemos variklis- yra komponentas, įkūnijantis atsparumą ekstremaliomis sąlygomis: volframo siūlas.
Šis kuklus suvyniotas laidas iš tikrųjų yra medžiagų mokslo stebuklas. Jonų implantavimo aplinka yra žiauriai priešiška: jose derinamas degantis karštis, ėsdinančios cheminės medžiagos iš dujų, tokių kaip BF3 arba PH₃, ir nuolatinis dalelių bombardavimas. Kaitinamasis siūlas, dažnai naudojamas kaip katodas, turi būti įkaitintas iki įkaitinimo, kad išskirtų elektronus, reikalingus plazmai uždegti ir palaikyti. Gedimas čia sukelia sijos nestabilumą, metalo užteršimą ir brangiai kainuojančias gamybos prastovos.
Kodėl šiame vaidmenyje karaliauja volframas? Atsakymas slypi neprilygstamose jo savybėse:
Atsparumas ekstremalioms temperatūroms: Turėdamas aukščiausią visų metalų lydymosi temperatūrą (3422 laipsnių), volframo siūlas išlaiko struktūrinį vientisumą, kai kiti sugestų.
Puikus atsparumas purslams: jis atsparus erozijai nuo plazmos bombardavimo, todėl užtikrina ilgesnį tarnavimo laiką ir grynesnius jonų pluoštus.
Puiki elektronų emisija: jo terminės savybės idealiai tinka generuoti pastovų elektronų srautą, reikalingą stabiliam plazmos generavimui, ypač netiesiogiai šildomo katodo (IHC) šaltiniuose.
Naujos-kartos lustų, įskaitant silicio karbido (SiC) ir galio nitrido (GaN) maitinimo įtaisus, poreikiai dar labiau skatina implantavimo technologiją. Dėl to reikia dar patikimesnių,{2}}našių šaltinio komponentų. Volframo siūlas iš paprastos vielos tapo tiksliu-sukonstruotu vartojimo reikmeniu, o grūdelių struktūros kontrolės ir dopingo pažanga (pvz., naudojant retųjų -žemės oksidų) padidino jo ilgaamžiškumą ir emisijos efektyvumą.
Norint įsigyti šių{0}}svarbių komponentų, reikalingas partneris, turintis gilių metalurgijos žinių ir įsipareigojęs siekti tikslumo. Daugiau nei du dešimtmečius Zhuzhou Kingdon Industrial & Commercial Co., Ltd (W/Mo Nuo 2004 m.) buvo patikimas pažangių ugniai atsparių metalų pavadinimas. „Kingdon“ specializuojasi volframo ir molibdeno gaminių gamyboje. „Kingdon“ tiekia didelio-grynumo, nuosekliai gaminamas medžiagas, būtinas sudėtingoms reikmėms, pvz., jonų implantavimui.
Inžinieriams ir pirkimų specialistams, ieškantiems patikimų jonų šaltinio komponentų, įskaitant didelio{0}}našumo volframo siūlus, Zhuzhou Kingdon siūlo įrodytą patirtį ir gamybos meistriškumą.
Zhuzhou Kingdon Industrial & Commercial Co., Ltd (W/Mo Nuo 2004 m.)
Pridėti: Nr.9 Zhongda Road, Aukštųjų{1}}Tech Industrial Park, Zhuzhou, Hunan, Kinija
Tel.: +86-731 28470377 / 22868227
Faksas: +86-731 28410491
Tinklalapis:www.kdmet.com
